| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2009년 봄 (05/21 ~ 05/22, 무주리조트) |
| 권호 | 15권 1호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | FE-SEM을 이용한 다양한 분석 방법 |
| 초록 | 현재 많은 연구자들은 연구과정에서 시료의 고분해 이미지를 관찰하기 위하여 기본적이고, 일반적으로 FE-SEM을 활용하고 있다. 따라서 본 연구에서는 한국기초과학지원연구원 순천센터에서 구축하여 연구&분석지원하고 있는 고분해능 FE-SEM(S-4800)의 다양한 툴을 이용하여 분석해 봄으로써 우리가 얻고자하는 이미지 중에서 가장 적합한 이미지를 찾고자 본 연구를 실시하였다. 본 센터에서 구축하고 있는 FE-SEM의 경우 다양한 모드 및 옵션을 갖추고 있는데, 첫 번째로 일반 이차전자를 이용한 normal mode, 저진공 및 부도성 물질을 표면 코팅 없이 관찰 할 수 있는 ExB 및 저전압에서 표면손상 없이 관찰할 수 있는 Deceleration mode, detector의 위치에 따른 이미지 edge 효과 등을 활용하여 cross section 및 표면을 관찰하였다. 첫 번째로 고전압(10kV)의 normal mode와 저전압(2kV)을 사용하는 Deceleration mode에서 이미지의 큰 차이는 보이지 않았으며 고전압에서 표면손상을 일으키는 반도체 물질 및 코팅 산화물 분석에 Deceleration mode가 매우 유리할 것으로 판단된다. 또한 Deceleration mode는 Normal mode와 다르게 표면의 이미지 형상까지 미세하게 관찰할 수 있으며 예를 들어, 구형의 미세 입자 표면의 이미지 형상(topology)를 세밀하게 관찰할 수 있다. 두 번째로 ExB mode와 Deceleration mode는 저전압에서 선명한 이미지를 얻을 수 있으며ExB의 경우 BSE와 비슷한 이미지를 얻을 수 있는 장점이 있다. |
| 저자 | 이영미, 윤재식 |
| 소속 | 한국기초과학지원(연) |
| 키워드 | FE-SEM; Deceleration mode; ExB mode; topology |
