화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2005년 가을 (11/10 ~ 11/11, 한양대학교)
권호 11권 2호
발표분야 전자재료
제목 (ZnO)m(In1-xSbx)2O3 (0≤x≤0.2)의 제조 및 미세구조 특성 연구
초록 본 연구에서는 99.9% 이상의 순도를 가지는 ZnO, In2O3, Sb2O3 분말을 이용하여 냉간가압성형방법으로 (ZnO)m(In1-xSbx)2O3 (0≤x≤0.2, m : 정수) 시편을 제조하였다. 칭량한 혼합 분말을 planetary mono mill을 이용하여 습식방법으로 분쇄/혼합한 후, 혼합된 분말을 70℃에서 24시간 동안 건조하고, 140mesh의 체에서 체가름하였다. 체가름된 분말을 1150℃에서 6시간 동안 하소한 후, 하소된 분말을 위에서 언급한 방법으로 2차 분쇄/혼합, 건조 및 체가름을 하였다. 그 후 체가름 된 분말을 일축 냉간가압성형기를 이용하여 24MPa 압력으로 성형체를 제조하였다. 성형체를 1550℃에서 2시간 동안 유지한 후, 상온까지 공냉하였다. 본 연구에서, 여러 다른 Sb2O3의 함량을 가진 소성체의 기공도, 결정립 크기, 결정구조를 상세히 분석하였다. Sb2O3의 첨가량이 증가함에 따라 소성체의 기공도가 증가 하였다. 모든 시편에서 Sb는 소성체에 대체로 균일하게 분포하고, (ZnO)m(In1-xSbx)2O3 고용체를 형성하였다. Sb2O3가 첨가되지 않은 (ZnO)5In2O3 소성체는 대부분 육방정 구조를 가지는 (ZnO)5In2O3 상이었으며, 이 상 이외에 소량의 (ZnO)4 In2O3 상이 존재하였다. Sb2O3의 첨가량이 0.05-0.15인 시편의 경우, Sb2O3의 첨가량이 증가함에 따라 (ZnO)5In2O3 상이 감소하고, (ZnO)4In2O3 상이 증가함을 관찰하였다. Sb2O3의 첨가량이 0.2인 소성체의 중요상은 (ZnO)3In2O3 상이고, 소량의 (ZnO)4In2O3 상과 (ZnO)5 In2O3 상이 존재하였다.
저자 김규광1, 서원선2, 박경순1
소속 1세종대, 2요업기술원 차세대사업단
키워드 (ZnO)m(In1-xSbx)2O3; 미세구조. ZnO; In2O3; Sb2O3; 냉간가압성형
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