| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2003년 가을 (10/24 ~ 10/25, 한양대학교) |
| 권호 | 9권 2호, p.2749 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Parylene 박막 증착 반응기의 전산 유체 해석 |
| 초록 | 유기발광 소자의 Encapsulation을 위한 Parylene 박막 증착 반응기내의 유체 유동을 CFD-ACE+를 사용하여 예측해 보았다. 전산모사는 three - dimensional unstructured grid를 사용하여 계산하였으며, Simulation을 통해 반응기 내부의 열 및 유체 유동을 확인하였고, 일부 Recirculation flow가 나타남을 알 수 있었다. 이를 바탕으로 공정조건 및 susceptor의 위치 변화로 인해 증착에 용이한 전산해석상의 최적 공정조건을 제시할 수 있었다. |
| 저자 | 윤인수, 박진호, 여석기, 한승훈, 이종승, 송민철 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | Parylene;박막증착;전산유체 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
