| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2010년 가을 (11/11 ~ 11/12, 무주리조트) |
| 권호 | 16권 2호 |
| 발표분야 | A. Information and Sensor Materials(정보소재 및 센서) |
| 제목 | ZnO/MgO 박막의 열처리에 따른 전기·광학적 특성 |
| 초록 | 본 연구에서는 RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 u-GaN/Al2O3 위에 ZnO/MgO 다층막을 증착하여 이종접합구조를 형성하고, N2 분위기에서 급속열처리에 따른 전기·광학적 특성의 변화를 조사하였다. 기본압력 2.0 × 10-6 torr에서 Ar 가스를 30 sccm으로 공급하여 공정압력을 2.0 × 10-2 torr로 유지하며 스퍼터링 하였다. 급속열처리는 N2 가스의 유량을 100 sccm으로 일정하게 공급하고, 200 ~ 800 ℃의 온도범위에서 30초 동안 열처리하였다. ZnO와 GaN 박막의 전기적 특성은 Hall-effect tester를 이용하여 측정하였고, XRD와 PL을 이용하여 결정구조와 발광특성을 조사하였으며, ZnO/MgO/GaN 계면에서의 화학 결합상태를 XPS를 이용하여 분석하였다. 열처리에 의해 ZnO/MgO의 계면에서 일부 Mg 원자가 ZnO 층으로 확산하였고, PL 스펙트럼의 주된 발광피크가 Blue-shift 하였다. |
| 저자 | 김준1, 송창호2, 변창섭1, 김선태2 |
| 소속 | 1한밭대, 2정보전자부품소재(연) |
| 키워드 | GaN; ZnO; MgO; RF sputter; RTA |
