| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2006년 가을 (11/10 ~ 11/11, 경희대학교(수원캠퍼스)) |
| 권호 | 10권 2호 |
| 발표분야 | 정보전자소재 |
| 제목 | MO-CVD, ALD용 precursor의 분해 진단 표준화에 관한 연구 |
| 초록 | 최근 반도체 증착공정에서 precursor의 사용량이 증가함에 따라 precursor의 분해 진단에 관한 많은 연구 결과가 발표되고 있다. 본 연구에서는 pure한 TEOS, TDEAT 및 TDMAT를 수분 또는 열로 강제 분해시키고, 이의 분해 및 그 분해 과정을 개발된 초음파system으로 관찰하였다. 또한 in-situ로 분해과정을 모니터 하여 그 분해된 구조를 NMR로 비교 확인 하였다. |
| 저자 | 이지훈1, 윤주영2, 성대진2, 신용현2, 송희열1, 문두경1 |
| 소속 | 1건국대, 2한국표준과학(연) |
| 키워드 | precursor; real time monitoring; sultra-sonic; CVD; ALD |
