학회 | 한국재료학회 |
학술대회 | 2009년 가을 (11/05 ~ 11/06, 포항공과대학교) |
권호 | 15권 2호 |
발표분야 | C. Energy and the Environment(에너지 및 환경재료) |
제목 | 열처리 조건에 따른 Ag 전극의 전기적 특성 |
초록 | 이 연구에서는 P형 Si(100) 기판 위에 Ag-Paste를 스크린 프린팅 한 후 열처리 조건을 달리하여 전극을 형성하고 전기적 특성을 조사하였다. 열처리 온도와 시간은 각각 550~700℃와 10~40분으로 변화시켰고, 형성된 전극의 단면의 형상과 두께는 금속광학현미경과 전자주사현미경(SEM)으로 관찰하였다. 전극의 저항은 4-Point Probe를 이용하여 측정하였고, Ag의 확산깊이를 에너지 분산형 주사전자현미경(SEM-EDX)을 이용하여 분석하였다. Ag 전극 단면의 두께는 8 μm로 일정하였고, 열처리 온도와 시간이 증가함에 따라 Ag 입자의 성장에 의해 결정립의 크기가 증가하였다. 전극의 면저항은 열처리 온도 550℃에서는 11.72 mΩ/sq이었고, 열처리 온도 700℃에서는 10.55 mΩ/sq로 감소하는 경향을 보였다. Ag의 확산깊이는 열처리온도 550℃에서 약 1.7 μm정도로 관찰되었다. |
저자 | 박상만1, 이재범2, 변창섭1, 김선태2 |
소속 | 1한밭대, 2정보전자부품소재(연) |
키워드 | Ag-Paste; 스크린 프린트; 전극; 태양전지 |