| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2022년 봄 (05/11 ~ 05/13, 제주국제컨벤션센터(ICC JEJU)) |
| 권호 | 26권 1호 |
| 발표분야 | 포스터-환경·에너지 |
| 제목 | 반도체 제조공정 배출 미세먼지-질소산화물 동시 저감을 위한 오존 고속산화공정 최적화 연구 |
| 초록 | 반도체 제조공정에서는 산성가스, 알칼리가스, 유기성가스를 비롯한 여러 특수가스를 복합적으로 취급하기 때문에 복합대기오염물질 처리가 가능한 통합시스템이 지속적으로 요구되고 있으며, 이러한 복합 대기오염물질을 처리하는 과정에서 대기오염물질이 추가적으로 발생하는 문제점까지도 발생하고 있다. 본 연구에서는 반도체 제조공정에서 발생하는 미세먼지와 질소산화물 동시처리를 위하여 오존산화, 습식중화 및 습식전기집진 기술들을 집적화한 10 CMM급 복합오염물질 제거시스템을 개발하였으며, NOx 제거효율 증대를 위한 공정변수 제어 및 최적화를 진행하였다. 특히, 전원공급장치를 포함한 습식전기집진장치 핵심부품 안정성 평가를 위해 30일 동안의 장기운전도 병행하였다. 오존산화 기반 DeNOx 공정에서 가장 중요한 운전변수인 O3/NO 비율 및 습식중화 공정 운전변수를 최적화하여 중화반응에 의한 제거효율 기여도를 확인하였다. |
| 저자 | 홍기훈1, 황상연1, 엄성현1, 이승준2, 고은하2 |
| 소속 | 1고등기술(연), 2플라즈마텍 |
| 키워드 | 반도체 폐가스; 미세먼지-질소산화물 동시 저감; 오존 고속산화; 공정 최적화 |
