| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2016년 가을 (11/16 ~ 11/18, 경주 현대호텔) |
| 권호 | 22권 2호 |
| 발표분야 | E. 환경/센서 재료 분과 |
| 제목 | IPA, Surfactant 첨가에 따른 KOH 용액의 Si 이방성 식각 특성 |
| 초록 | MEMS 공정을 바탕으로 일체형 스트레인 게이지를 설계 및 제조하기 위하여 KOH의 이방성 습식 식각 특성을 연구하였다. 식각특성을 비교, 분석하기 위해 KOH용액에 IPA, 계면활성제(음이온, 양이온, 양쪽성)를 첨가하여 다양한 식각용액을 제조하였다. 그리고 젖음성, 식각속도, 표면거칠기 및 식각 후 형상변화를 측정하여 비교, 분석하였다. 먼저, 젖음성을 알아보기 위해 접촉각 측정기를 이용하였고, 온도 60-90℃, 1시간 식각 조건 하에서 실험을 진행하고 Alpha step기기를 사용하여 식각속도를 측정하였다. 마지막으로 표면거칠기와 식각 후 형상변화는 AFM, SEM 장비로 분석하였다. 분석 결과로부터, KOH에 IPA, 계면활성제를 첨가한 식각용액이 순수 KOH 보다 전반적으로 더 나은 특성을 보임을 알 수 있었다. |
| 저자 | 최준환, 김정식 |
| 소속 | 서울시립대 |
| 키워드 | 계면활성제; 접촉각 측정기; 스트레인 게이지; KOH |
