화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2008년 가을 (10/23 ~ 10/24, 부산 BEXCO)
권호 14권 2호, p.2620
발표분야 분리기술
제목 Study of Characteristics of Micro Porous silica Films fabricated by Aerosol Flame Deposition
초록 Aerosol flame depositon(AFD) 공정을 이용하여 실리콘 기판위에 다공성 실리카 박막을 제조하고 열처리 온도(sintering temperature)에 따른 물성을 조사하였다. 실리콘 기판 위에 증착된 SiO2 산화물들은 열처리 온도가 1270℃에서 1320℃까지 증가함에 따라 모든 시료에서 표면이 수 마이크로 이하의 균일한 연속 기공을 갖는 다공성 박막이 형성되었다. 또한 열처리 온도가 증가함에 따라 물질 유동이 일어나 기공의 크기가 균일하게 되고 거칠기가 감소하는 경향을 나타냈었다. 소수성 물질인 Diiodomethane로 시료와의 접촉각을 측정한 결과 1270℃에서 1320℃사이에서 열처리 온도가 증가할수록 접촉각이 증가하였으며, 물방울투하법과 공기방울부상방법을 이용하여 모든 시료의 표면이 친수성임을 확인하였다. pH가 높아질수록 제타 전위는 점점 값이 크게 감소하다가 증가하였고 pH8에서 열처리 온도가 1320℃인 경우에 -87mV정도의 값을 나타내었다. 따라서 AFD 공정을 이용하여 제조된 수 마이크로 이하의 연속기공을 갖는 실리카막은 자연유기물질의 제거효율이 높은 MF(micro-filtration)분리막으로 적용 가능함을 알게 되었다.
이 연구는 2007년 정부(교육인적자원부)의 재원으로 한국학술진흥재단에 지원을 받아 수행된 연구임(KRF-2007-412-J02002).
저자 임경택1, 김경환1, 김경석1, 송선정2, 정형곤3, 조동련1
소속 1전남대, 2BK21 기능성나노신화학소재사업단, 3아크로솔(주)
키워드 AFD; ceramic membrane
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원문파일 초록 보기