학회 | 한국공업화학회 |
학술대회 | 2006년 봄 (05/12 ~ 05/13, 전북대학교) |
권호 | 10권 1호 |
발표분야 | 화학공정 |
제목 | TEOS용액으로부터 구형실리카 나노분말의 화염합성 |
초록 | 반도체 등 고집적화, 소형화, 박형화 등이 요구되는 첨단소재 분야에 활용되기 위해서는 나노크기의 고순도 실리카 제품이 요구되며, 또한 구형을 유지하여야만 높은 충진 밀도를 달성할 수 있다. 본 연구에서는 고순도 구형 실리카 나노분말을 제조하기 위하여 이류체노즐을 이용하여 실리콘 알콕사이드 용액을 고압 분무시킨 후 이를 화염속에서 직접 산화반응시켜 구형 실리카 나노분말을 제조하였다. 또한 실리카 나노분말의 크기 및 비표면적 제어를 위해 반응물질 공급유량 및 분산공기 압력을 변화시켰다. 반응물질 공급유량을 감소시킬수록 또한 분산공기 압력을 높일수록 합성된 실리카 나노분말의 크기는 작아졌고, 비표면적은 증가하였다. |
저자 | 장한권, 박진호, 장희동 |
소속 | 한국지질자원(연) |
키워드 | 실리카; 나노분말; 화염합성; TEOS |