| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1996년 가을 (10/18 ~ 10/19, 경북대학교) |
| 권호 | 2권 2호, p.2445 |
| 발표분야 | 이동현상 |
| 제목 | 동력조절이 플라즈마 에칭 반응기 성능에 미치는 효과 |
| 초록 | 본 연구에서는 Tetrafluoromethane 기체를 이용한 실리콘 에칭 시스템을 모델로 동력조절이 라디칼의 농도와 분포, 에칭속도 그리고 균일도에 미치는 효과를 유한요소법을 이용한 전사모사를 통하여 알아보았다. |
| 저자 | 허진석, 신치범 |
| 소속 | 아주대 |
| 키워드 | 플라즈마; 에칭; 동력조절; 유한요소법 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
