| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2022년 봄 (05/11 ~ 05/13, 제주국제컨벤션센터(ICC JEJU)) |
| 권호 |
26권 1호 |
| 발표분야 |
포스터-환경·에너지 |
| 제목 |
흐름식 레독스 탈염공정 (Redox Flow Deionization, RFD)을 이용한 수산화 테트라 메틸 암모늄 (Tetramethyl Ammonium Hydroxide, TMAH) 처리 및 회수 기술 |
| 초록 |
반도체 현상액으로 가장 널리 사용되는 유기용제인 수산화 테트라 메틸암모늄(Tetramethylammonium hydroxide, TMAH)은 비생물학적특성으로 인해 현상액 폐액으로 용출될 시 다른 물질과 함께 처리하기가 매우 어려운 환경유해물질이다. 또한 TMAH 유기용제는 고가의 재료이기에 TMAH 현상액 폐액으로부터 가치있는 TMAH를 회수하는 것이 환경 편익 증진과 경제적 이익을 창출하는 데에 도움이 될 수 있다. 그러나 TMAH 회수에 대한 연구는 아직까지 상업적으로 정착되지못한 단계로, 보다 자세한 연구가 필요한 상황이다. 이에따라 본 연구에서는 최근 축전식탈염공정 (Capacitive deionization, CDI) 기술중에서도 고성능 탈이온화 기술로써 큰 관심을 받고 있는 Redox flow deionization (RFD) 공정을 적용하여 TMAH를 제거 및 농축하여 회수할 수 있는 기술을 연구하였다. 전극 표면의 전기화학적 산화환원 반응을 통해 현상액 폐액으로부터 TMAH를 성공적으로 처리 및 회수하였으며, 다양한 운전변수에서의 공정 성능을 평가하였다. |
| 저자 |
안다영, 김현진, 박현수, 김성환, 김춘수
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| 소속 |
공주대 |
| 키워드 |
Redox flow deionization; 현상액 폐액; 수산화테트라메틸암모늄; 환경유해물질; 산화/환원 짝반응
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