| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2010년 가을 (11/11 ~ 11/12, 무주리조트) |
| 권호 |
16권 2호 |
| 발표분야 |
A. Information and Sensor Materials(정보소재 및 센서) |
| 제목 |
산화아연-단일벽 탄소나노튜브 복합체의 일산화질소 감지특성 |
| 초록 |
본 연구에서는 단일벽 탄소나노튜브(Single Wall Carbon Nanotues, SWCNT)-산화아연(ZnO)복합체를 이용한 가스 센서를 제작하였다. SiO2 기판 위에 아크방전법(In-situ Arc discharge method)을 이용하여 다공성의 구조를 갖는 SWCNT를 합성하였다. SWCNT 템플릿 상부에 스퍼터링(Sputtering)법을 이용하여 아연금속을 증착시킨 후 Rheotaxial Growth and Thermal Oxidation(RGTO)법을 사용하여 SWCNT-ZnO 복합체를 제작하였다. 복합체의 표면형상과 결정성은 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM), X-선 회절분석(X-ray Diffraction)을 이용하여 분석하였다. 제작된 복합체는 산화성 가스인 NO 가스를 사용하여 가스 감응특성을 평가하였다. SEM 분석을 통해 다공성의 탄소나노튜브에 산화아연 입자가 균일하게 증착되어 있음을 확인할 수 있었다. 산화아연 박막과 복합체 모두 200℃에서 가장 높은 감응도를 보였으며 600 ppb의 NO 농도에서 SWCNT-ZnO 복합체가 약 570%의 감도로, 박막과 비교하여 10배의 높은 감도 특성을 보였다.
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| 저자 |
장동미, 안세용, 정 혁, 김도진
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| 소속 |
충남대 |
| 키워드 |
Zinc oxide; carbon nanotube; composite; NO gas sensor
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