| 초록 |
최근 지구온난화에 대한 국내외적 논의가 활발한 가운데 자동차 연비향상에 대한 산업계의 관심이 높아지고 있다. 현재 자동차 산업은 연비 향상을 위해 낮은 점도의 엔진 오일을 요구하고 있으며, 엔진 구동환경은 점차 가혹해지고 있다. 그러므로 자동차 엔진 부품의 수명을 지속시킬 수 있는 내구성 및 내마모성이 우수한 새로운 코팅 소재의 개발이 요구되고 있다. 이러한 자동차 엔진부품에 적용할 수 있는 새로운 코팅 소재로 나노복합코팅이 대두되고 있다. 그 중 Mo-Cu-N 코팅은 특히 윤활환경에서 Cu 원소와 oil의 상호작용에 의해 코팅표면에 DLC tribofilm을 형성하는 것으로 보고되었다. 지금까지 보고된 Mo-Cu-N 코팅의 경우 대부분 다수의 타겟을 이용하는 co-sputter 방식을 적용하고 있다. 하지만 이 방법의 경우 공정 시 여러 타겟을 동시에 제어해야 하는 단점을 가진다. 반면, 단일 합금 타겟으로 코팅을 증착 할 경우 공정을 단순화시킬 수 있어 산업분야에서의 적용을 기대할 수 있다. 본 연구에서는 Mo-Cu 단일 합금 타겟을 이용하여 다양한 질소 유량에서 증착 된 Mo-Cu-N코팅의 특성을 비교 분석하고자 하였다. 증착 된 Mo-Cu-N 은 SEM, XRD, AFM, Nano-indentation, 왕복동 마찰 시험을 통해 Mo-Cu-N 코팅의 표면 및 마찰특성을 비교 분석하였다. |
