| 초록 |
나노홀, 나노로드, 나노튜브와 같은 1차원 나노구조체는 높은 표면적을 가지고 있기 때문에, nanoelectronics, catalytic support application 등에 널리 활용될 수 있는 장점이 있다. 이러한 1차원 나노구조체를 제작하기 위하여 많은 연구자들은 nano imprinting lithography (NIL), E-beam lithography (EBL), carbon nanotube (CNT) 등을 이용하여 왔다. 하지만 100nm 이하의 미소패턴 구현, 높은 공정 단가, 불규칙적인 배열 등 많은 단점을 극복하지 못하고 있기 때문에 Block copolymers (BCPs) 를 이용한 나노구조체에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. BCPs 는 두 가지 이상의 모노머들이 결합된 유기물질로써 자가정렬 특성을 이용하여 20nm 이하의 미소패턴을 균일하게 할 수 있다는 장점을 가지고 있다. 따라서 본 연구에서는 BCPs 의 이러한 특성을 이용하여 1차원 나노구조체를 효율적으로 제작하고 그 구조에 따른 효과를 관찰하고자 한다. 다양한 1차원 나노구조체를 제작하기 위하여 백금을 ALD 방식으로 기판에 증착하고 식각하는 방식을 사용하였고 증착/식각 공정 순서 및 증착 두께/식각 두께 변화에 따라 나노홀, 나노로드, 나노튜브 등의 구조체를 제작할 수 있었다. 또한, 미소패턴에서 발생하는 Surface-enhanced Raman spectroscopy (SERS) 효과를 관찰함으로써 각각의 구조에 따른 표면적 효과를 확인하고 높은 효율을 갖는 SERS sensor 구조에 관해 연구하였다. |
