| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2009년 봄 (05/21 ~ 05/22, 무주리조트) |
| 권호 |
15권 1호 |
| 발표분야 |
반도체재료 |
| 제목 |
ZnO:Al -SWNT 복합체의 일산화질소 가스 감지 특성 |
| 초록 |
Arc-discharge법으로 제작한 SWNT 위에 2개 이상 물질을 동시에 증착 시킬수 있는 RF- Magnetic sputtering system을 이용하여 ZnO:Al film을 코팅하여 NO gas의 감도에 대해 연구하였다. Composite 형태를 확인하기 위해 FE-SEM을 측정하였고 구조적특성은 x-ray, 감도 측정에는 I-V mesurement를 사용하였다.Porous 구조의 SWNT는 P-type으로 가스 반응시 저항값이 감소하는 반면 ZnO:Al Film은 N-type으로 저항이 증가한다. 그리고 SWNT를 template로 사용하여 ZnO:Al을 코팅하게 되면 N-type의 특성만 나타나게 되는 것을 학인하였다. ZnO:Al- SWNT composites 구조는 반응 표면적을 증가시켜 film형태일때 보다 200도에서 NO gas에 대한 감도가 항상되며 반응속도도 증가되는 것을 확인할 수 있다. 또한 SWNT의 낮은 기본 저항으로 composite 형태가 되면 film일 때 보다도 낮은 저항값을 가지는 것을 확인할 수 있었다. |
| 저자 |
안은성, 정훈철, 웬래훙, 박성용, 오동훈, 김효진, 김도진
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| 소속 |
충남대 |
| 키워드 |
NO; ZnO:Al; gas sensor; CNT
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