화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 1999년 봄 (04/23 ~ 04/24, 성균관대학교)
권호 5권 1호, p.1853
발표분야 공업화학
제목 반도체 부품용 팔라디움 전기도금에서의 첨가제 특성에 관한 연구
초록 본 연구는 반도체용 팔라디움 전기도금에서 유기물 첨가제를 넣었을 때 팔라디움 전
극반응과 도금표면의 관계를 Cyclic votammetry와 AFM으로 관찰하였다.
저자 이진우, 주재백, 손태원, 복경순, 최우석, 백영호, 김중도
소속 홍익대
키워드 palladium; electrodeposition; additive
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