| 초록 |
고상소결법에 의해서 Er2O3가 각각 1, 2, 3 wt%로 각각 도핑된 70TeO2-30WO3 타겟을 RF(radio frequency) 마그네트론 스퍼터의 각종 공정조건 - 기판온도, Ar/O2 flow ratio, 공정압력, RF power - 을 변화시키면서 Er3+ 도핑된 Tungsten – Tellurite 유리 박막을 제조하였다. 유리박막의 표면거칠기, 결정성, 미세구조 등을, 원자력현미경, X-선 회절기, 주사전자현미경을 이용하여 조사하였고, 박막의 화학성분분석과 결합특성을 에너지 분산 X-선 분석기와 FTIR을 이용하여 분석하였다. 박막의 광학적 특성평가를 위하여 UV 분광기를 이용하여 투과도를 측정한 후Swanpoel's 방법으로 굴절률을 계산하였으며 PL을 이용하여 발광특성을 조사하였다. 비정질 유리 박막의 표면 거칠기는 상온에서 약 4nm를 얻을 수 있었고, 상온에서 증착된 모든 박막은 비정질로 확인되었다. Er3+ 도핑된 tungsten-tellurite 유리 박막의 자세한 광학적 특성평가는 앞으로 논할 것이다. |
