| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2004년 봄 (04/23 ~ 04/24, 공주대학교) |
| 권호 | 10권 1호, p.929 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Substrate의 높이에 따른 parylene 박막의 특성 |
| 초록 | 본 연구는 유기발광소자의 encapsulation을 위한 Parylene 박막 증착 반응기의 설계 및 공정에 관한 연구이다. 최적의 Parylene 박막을 얻기 위하여 이미 3차례에 걸쳐 Parylene 증착반응기를 수정하였으며, 4번째에서는 기판의 높이를 조절하여modification 하였다. 그에 따른 최적 공정을 set-up하기 위하여 여러 공정 조건의 변화에 따른 증착 속도와 박막의 특성을 조사하였고 최적 공정을 찾았다. Parylene의 증착 속도는 전구체 승화 온도가 증가할수록 증착 온도가 감소할수록 증가하였으며, 증착된 박막의 특성 평가는 FT-IR, SEM, AFM에 의해 수행하였다. |
| 저자 | 윤인수, 박진호, 여석기, 윤덕선, 송민철 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | parylene; 유기발광소자; OLED; encapsulation |
| 원문파일 | 초록 보기 |
