| 초록 |
Flexible display 산업은 2010년을 기점으로 시장이 본격적으로 형성되며 비약적으로 발전되어 갈 것이다. 현재 저온 공정 및 ink jet 방식으로 TFT 및 color filter 를 제작하는 방식이 많이 개발되고, 이 개발 속도에 맞춰 기판의 물리적, 화학적 성능을 높일 수 있는 구조 및 처리 방법이 많이 고안되어 있다. 기판에 필요한 기본적인 특성을 살펴보면, 낮은 WVTR(water vapor transfer rate), OTR(Oxygen transfer rate)값을 가져야 하며, 기판이 라인 공정 진행에 용이하도록 curl이 없어야 한다. 그리고 TFT공정에서 투입되는 ITO etchant, stripper 등으로부터 견뎌야 한다. Bare film으로는 위에서 요구하는 특성을 만족시킬 수 없기 때문에 무기막 및 유기막을 코팅하게 된다. 본 발표에서는 TFT 공정 진행에 있어 중요한 curl 특성을 기판의 구조 및 재료로써 제어하는 예를 설명하고, 유기막에 UV acrylate를 도입하여 내화학성을 개선할 수 있는 방법을 소개할 것이다. |
