| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2018년 가을 (11/07 ~ 11/09, 여수 디오션리조트) |
| 권호 | 24권 2호 |
| 발표분야 | A. 전자/반도체 재료 분과 |
| 제목 | 고순도 사염화타이타늄 정량 분석 방안 연구 |
| 초록 | 타이타늄은 항공, 국방, 자동차 및 방열소재와 내식성을 중요시한 산업에서 이용하는 경량화 소재이다. 반도체 산업 및 의료산업까지 활용범위가 증가하고 있다. 타이타늄은 주로 사염화타이타늄을 이용하여 제조되며, 사염화타이타늄은 타이타늄 뿐만 아니라 이산화타이타늄의 전구체로도 이용된다. 이산화타이타늄은 페인트, 안료, 도료에서 사용되고 있으며 불순물이 존재할 경우 효용가치가 떨어지므로 고순도의 이산화타이타늄 제조를 위해서는 고순도의 사염화타이타늄이 필요하다. 또한 사염화타이타늄은 반도체공정에서 주로 이용되는데 TiN 및 Ti silicide 코팅을 위한 재료로서도 이용된다. 고순도 소재의 순도 확인을 위해서는 주로 ICP분석을 통해 이루어지는데, 사염화타이타늄의 경우 대기중에 노출시에 수분에 민감하여 분석이 어렵다. 따라서 수분과의 접촉을 방지하는 분석을 실시하거나, 전처리를 통한 분석이 이루어져야한다. 따라서 본 연구에서는 고순도 사염화타이타늄 분석을 위한 방안 연구를 실시하고자 한다. 사염화 타이타늄은 수분과 반응시 이산화타이타늄을 형성하고 기타 불순물 또한 침전되므로 정량 분석이 이루어지지 않는다. 수분이 포함되지 않는 용매를 이용하여 주로 전처리가 수행된다. 본 연구에서는 다양한 용매를 이용하여 전처리를 실시하였으며, 전처리된 사염화타이타늄의 순도분석을 통해 최종적으로 사염화타이타늄 분석방안을 마련하고자 한다. |
| 저자 | 이지은, 이찬기, 윤진호 |
| 소속 | 고등기술(연) |
| 키워드 | <P>사염화타이타늄; 타이타늄; ICP; 정량분석</P> |
