| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2014년 봄 (04/23 ~ 04/25, 창원컨벤션센터) |
| 권호 | 20권 1호, p.329 |
| 발표분야 | 분리기술 |
| 제목 | 파일럿 스케일의 분리막 장치를 이용한 SF6 농축도 향상 기법 |
| 초록 | 지구 온난화로 인한 기후변화가 국제적인 문제로 대두됨에 따라 온실기체의 감축이 요구되는 상황이다. 이에 따라 반도체 디스플레이 산업에서 사용되고 있는 6대 온실기체의 하나인 SF6 역시 배출감축이 요구되고 있다. 배출기체내 SF6를 제거하기 위한 방법으로 열분해기법이 사용되고 있으며, 이 기법에 대한 에너지 효율적인 대안으로 분리막을 이용한 농축 회수 기법이 관심을 받고 있다. 본 연구에서는 상용화된 PSf 재질의 중공사 분리막을 이용하여 파일럿 스케일로 제작한 기체 분리 장치를 이용하여 현장 배출기체 내의 SF6 분리에 대한 실험을 수행하였으며, 농축도를 향상시키기 위해 순환 공정을 개발하고 이를 파일럿 스케일의 분리막 장치를 이용하여 시험하였다. 그 결과 상용화된 분리막을 이용해 실제 폐가스 내의 SF6의 회수 가능성을 확인하였으며, 순환공정을 통한 분리막 공정의 농축 성능이 향상되었다. |
| 저자 | 이순재1, 박완근2, 최재우1, 이상협1 |
| 소속 | 1한국과학기술(연), 2KOCAT |
| 키워드 | 분리막; SF6; 순환공정 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
