| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2015년 봄 (04/29 ~ 05/01, BEXCO (부산)) |
| 권호 | 19권 1호 |
| 발표분야 | 환경에너지_포스터 |
| 제목 | PSf 분리막을 이용한 SF6 고농축 공정 예측을 위한 경험적 기체투과 모델 |
| 초록 | SF6는 6대 온실기체중 지구온난화효과가 가장 큰 기체로서, 반도체 산업을 비롯하여 여러산업의 배출 가스내 포함되어 있는 SF6의 저감기술에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 일 예로 분리막을 이용한 배출기체 내 SF6의 회수가 가능하며, 이를 고농도로 농축 후 재이용을 위한 연구가 진행되고 있으며, 이를 위한 장치의 개발이 함께 이루어지고 있다. 이 고농축 장치의 설계 및 운전조건을 결정하기 위해서는 기체투과속도의 예측이 선행되어야 한다. 그러나 고농도 SF6의 기체분리과정은 기체 혼합특성으로 인한 기체 투과속도에 대한 예측이 어려운 문제가 있다. 본 연구에서는 분리막을 이용한 SF6 고농축 공정의 혼합기체 투과속도 예측을 위한 경험적 모델을 제시하였다. |
| 저자 | 이순재1, 박완근2, 이민우2, 이상협1 |
| 소속 | 1한국과학기술(연), 2코캣 |
| 키워드 | PSf 분리막; 기체투과; 고농도; SF6 |
