| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2019년 가을 (10/30 ~ 11/01, 삼척 쏠비치 호텔&리조트) |
| 권호 |
25권 2호 |
| 발표분야 |
C. 에너지 재료 분과 |
| 제목 |
증착 파워 및 기판온도 변화에 따른 CuS 박막의 특성에 관한 연구 |
| 초록 |
RF 마그네트론 스퍼터링(radio frequency magnetron sputtering)법으로 CuS(Copper Sulfide) 박막을 유리 기판에 증착하였고, RF 파워 변화(40 W ~ 100 W)와 기판 온도 변화(RT ~ 300 ℃)에 따른 CuS 박막의 구조적 및 광학적 특성을 연구하였다. CuS 박막의 구조적 특성은 X-선 회절 (X-ray diffraction, XRD)과 라만 분광법(Raman spectroscopy, Raman)으로 분석하였다. Cu와 S 원소간의 결합 에너지(binding energy)는 X-선 광전자 분광법(X-ray photoelectron spectroscopy, XPS)으로 확인하였고, CuS 박막의 표면 형상과 두께는 전계 방출형 주사전자현미경(field emission scanning electron microscopy, FE-SEM)으로 관찰하였다. CuS 박막의 전기적 특성은 4-point probe를 사용하여 측정하였고, 광학적 특성은 자외선–가시–근적외선 분광 광도계(UV-Vis-NIR Spectroscopy)로 얻은 광 투과율 결과를 기반으로 밴드 갭을 계산하여 분석하였다. CuS 박막은 (110)면 우선 성장 배향성을 갖는 6방정계 결정구조임을 나타내었다. RF 파워와 기판 온도 증가에 따라 (110)면의 회절 강도는 향상되었고, CuS 박막의 두께 증가와 함께 밴드 갭은 감소하였다. |
| 저자 |
이승곤1, 김준아2, 김현재2, 최우진2, 황동현2, 손창식2
|
| 소속 |
1부산대, 2신라대 |
| 키워드 |
CuS thin film; RF magnetron sputtering; absorber layer; thin film solar cell
|
| E-Mail |
|
