| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2015년 가을 (11/25 ~ 11/27, 부산 해운대그랜드호텔) |
| 권호 |
21권 2호 |
| 발표분야 |
A. 전자/반도체 재료 |
| 제목 |
자기조립 블록공중합체를 이용한 HfO2 나노구조체 제조 및 물성 평가 |
| 초록 |
자기조립을 이용하는 상향식 방법은 특성의 저하가 없는 나노구조체를 제조할 수 있다. 대표적으로, 블록공중합체를 이용하여 역마이셀을 제조하고 내부에 무기물 전구체를 장입시킨 뒤, 기판 위에 코팅을 하여 다양한 나노구조체를 얻을 수 있다. 본 연구에서는 다양한 분자량을 가지는 이중 블록공중합체(Polystyrene-b-poly(2-vinylpyridine), polystyrene-b-poly(4-vinylpyridine), polystryene-b-poly(ethylene oxide) 등)를 이용하여 HfO2 나노점의 크기와 간격을 조절하였다. 또한 희토류 금속(Y, Er, Dy 등)을 원하는 농도로 HfO2 나노점에 도핑하는 것이 가능한지 연구하였다. 도핑된 희토류 금속이 HfO2 나노구조체의 미세구조와 물성에 어떠한 영향을 미치는지 XRD, FTIR, Raman, XPS, 주사탐침 현미경 등으로 분석하였다. |
| 저자 |
홍종인, 최유정, 이소영, 박규남, 김인범, 권범수, 박광원, 김선형
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| 소속 |
중앙대 |
| 키워드 |
<P>자기조립; 블록공중합체; HfO2; 나노구조체</P>
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