| 학회 |
한국고분자학회 |
| 학술대회 |
2007년 가을 (10/11 ~ 10/12, 일산킨텍스) |
| 권호 |
32권 2호 |
| 발표분야 |
기능성 고분자 |
| 제목 |
A Study of Characteristics and Fabrication of Thermo-Optic Switch using Fluorinated Polymer |
| 초록 |
본 연구에서는 화학적 안정성과 열적 안정성을 가지고 있으며, 굴절율 조절이 용이하고, 우수한 Thermo-Optic Coefficient 특성을 갖고 있고, 광전송 영역에 대하여 낮은 광손실을 가진 Fluorinated Polymer를 사용하여 Thermo-Optic Switch에 적용하였다. Fluorinated Polymer를 스핀-코팅법을 이용하여 Under Clad층과 Core층의 고분자 도파 박막을 실리콘 기판 위에 형성하였다. 마스크 설계는 열광학 효과를 이용하여, 광진화(Mode Evolution) 특성을 이용한 DOS(Digital Optical Switch) 형태의 Thermo-Optic Switch를 설계하였다. 그후 사진식각 공정을 거쳐 Core 부분을 형성하였다. Fluorinated Polymer를 사용하여 Over clad 부분을 코팅하였다. 그리고 마지막 과정으로 Cr Heater와 Au Pad를 형성하고 Wire bonding을 하여 Packaging 공정을 마무리지었다. 1.31μm와 1.55μm의 파장영역에서 측정을 실시하고, data를 관찰하여 위의 과정으로 만든 Device가 Thermo-Optic Switch로서 이용이 가능한지를 판단하였다. 이 논문은 전남대학교의 CPMD의 지원을 받았습니다. |
| 저자 |
위성유1, 이우균2, 정진숙1, 이현용2, 이무성1, 김진봉3
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| 소속 |
1Chonnam National Univ. Center for functional nano fine chemicals(BK21), 2faculty of applied chemical engineering / Chonnam National Univ. Center for photonic materials and devices(CPMD), 3faculty of applied chemical engineering |
| 키워드 |
Fluorinated Polymer; Thermo-Optic Switch
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| E-Mail |
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