| 초록 |
Plasma display panel(PDP)는 불활성 기체(Xe-Ne, Xe-He 등)의 음극 glow 방전 시에 발생되는 plasma로부터 나오는 진공 자외선(주로 147nm)이 형광체를 여기시켜 적, 녹, 청색의 가시광으로 변환되는 것을 이용하는 평판표시장치의 하나이다. PDP의 기본 구조는 상·하 유리기판 사이에 전극, 유전층, 보호층, 격벽 및 형광막 등으로 구성되어 있다. 특히 격벽(barrier rib)은 일정한 선폭과 높이를 가져 균일한 방전 공간을 제공하고, 인접한 셀 간의 전기적, 광학적 혼선(crosstalk)을 방지하기 위해 PDP의 하부 유리 기판 패널에 들어가는 PDP의 핵심 구조물이다. 격벽의 형성방법으로는 screen printing법, sand blast법 및 photolithography법이 알려져 있다. 이 중에서 screen printing법과 sand blast법에 의한 격벽의 형성은 격벽 간의 피치가 적은 고해상도 PDP에는 적용하기 어려운 문제가 있다. 본 연구에서는 고정세, 대화면 PDP에 적합한 감광성 격벽 paste의 formulation 및 이를 이용한 photolithography 공정에 대해 조사하였다. 감광성 격벽 paste는 먼저 유변학적 특성이 우수한 binder polymer 및 용매, 다관능성 단량체, 광개시제 및 중합금지제와 같은 첨가제를 선정하여 vehicle을 만들고 여기에 격벽 분말을 분산시켜 제조하였으며, 이들 성분이 인쇄, 건조, 노광, 현상, 소성 등의 photolithography 공정 성질에 미치는 영향을 조사하였다. 특히 저온에서 소성이 가능한 감광성 격벽 페이스트의 제조를 위한 binder polymer의 합성 및 사진식각 공정에 따른 격벽의 구조적 특성에 대해 조사를 하였다. |
