초록 |
Fe(CO)5증기와 SiH4 (0.5% SiH4+Ar 95.5%)기체를 사용하여 기상에서 열 분해시는 방법에 의해 철-실리콘 합금을 제조하였다. 입자 제조 장치는 시료 가스 주입 부분, 반응 부분, 입자 포집 부분과 배기가스 처리 부분으로 나누어져 있다. 본 연구의 제조방법은 일본에서 개발된 기존의 Fe-Si 계 비정질 합금의 나노결정화에 의한 연자성체 제조방법(Yoshizawa 등, 1988)과 접근 방법이 완전히 다르면, 상대적으로 공정이 단순하다. Fe-Si 입자 생성 시 입자의 크기, 결정성, 자기적 성질에 미치는 반응물의 농도, 반응기 내 체류시간, 반응온도 등 다양한 변수변화 실험을 하였다. 생성된 입자에 대해 XRD (X-ray diffraction), TEM (transmission election microscopy)분석으로부터 결정상태, 입자 모양 크기를 측정 하였고, HR-TEM (high resolution transmission election microscopy)을 통하여 입자표면의 산화물 층 존재 여부를 확인하였으며, VSM (vibration sample magnetometer)를 이용하여 입자들의 보자력, 포화자화 값 등의 기본적인 자기적 성질을 측정하였다. 또한, Fe-Si 분말을 도넛 형태의 코어(외직경 1.0cm, 내직경 0.6cm, 높이 0.3cm)로 성형한 후 투자율, 자심손실 등 연자성체 로서의 자기적 특성을 측정 하였다. |