화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2001년 가을 (10/19 ~ 10/20, 한밭대학교)
권호 7권 2호, p.4667
발표분야 재료
제목 플라즈마 반응기에서의 나노 미립자 성장 분석
초록 본 연구에서는 discrete-sectional 모델을 사용하여 플라즈마 반응기 내에서 입자 충돌에 의한 입자 성장을 이론적으로 분석하였다. 또한 입자 성장에 입자 전하의 영향을 고려하기 위해 플라즈마 조건 변화에 따라 입자 전하 분포를 계산하여 입자 전하를 고려한 입자 성장 속도를 계산하였다. 공정 변수로서 monomer 크기, monomer 생성 속도, 전자농도 등을 변화시켜 가며 입자 성장을 분석하였다.
저자 김교선, 김동주
소속 강원대
키워드 nanoparticle; particle growth; particle charge distribution; discrete-section model
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