| 초록 |
광학 및 압전 특성을 가진 LiTaO3는 레이저 시스템의 표면 음향 파 장치(SAW) 변환기, 압전 센터, 디코더 및 공진기 등 전자적 응용 장치에 주로 사용된다. LiTaO3 단결정 성장은 주로 초크랄스키 성장법을 사용하며, 잉곳 내의 잔류 응력을 쉽게 낮출 수 있으며 제어가 용이한 장점이 있다. LiTaO3 단결정 성장 시 주로 산소와 질소 분위기에서 실험이 진행된다. 적절한 산소 분압 분위기에서는 원재료의 증발량이 감소하여 높은 결정 품질을 얻을 수 있으며, 급성장하는 LiTaO3 단결정을 쉽게 제어할 수 있다. 그러나 적절치 못한 산소 분위기에서는 결정 내부 결함으로 발생되는 문제점이 주로 발생한다. 따라서 본 연구에서는 적절한 산소 분압 조절을 통해 저결함, 고품질의 LiTaO3 단결정을 얻을 수 있는 공정 조건을 개발하였다. 그리고 결정 품질 및 결정 내부 결함 확인을 위하여 X선 회절분석기(X-ray diffraction), X선 토포그래피(X-ray Topography) 분석을 실시하였다. |
