| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2006년 봄 (05/19 ~ 05/20, 경상대학교 ) |
| 권호 | 12권 1호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | 전해 도금법을 이용한 Fe-Pt 자성박막의 자기적 특성 및 미세 구조 |
| 초록 | FePt, CoPt 등의 장범위 규칙도를 갖는 2원계 금속간 화합물은 강자성 원자의 규칙적인 배열을 통해 높은 자기 이방성(Ku,FePt=6.6 ×106Jm-3)과 높은 보자력을 가진다. 특히, 1:1 조성 범위에서 L10라는 fct (face-centered tetragonal) 구조를 가지고 있다. c 축인 [100] 방향이 자화용이 축으로 되어 있으며, 이 결정방향을 면에 수직한 방향으로 성장시키면 수직 자기기록 매체로 응용이 가능하다. 본 연구에서는 FePt 전해 도금법을 이용하여 Si wafer (30mm × 10mm × 0.5mm)위에 전극으로서 Ta(5nm)/Cu(100nm)를 증착한 기판을 사용하여 도금 하였을 때와 열처리 후의 자성박막의 자기적 특성 및 미세 구조에 대하여 분석하였다. IRON(Ⅱ) SULFATE HEPTAHYDRATE (0.5M FeSO4ㆍ7H2O)와 HYDROGEN EXACHLOROPLATINATE(Ⅳ) HYDRATE (7.7mM H2PtCl6)등을 이용하여 도금용액을 만들었으며, 일정한 도금 용액 온도(25℃)에서 pH(2.0~3.0)와 전류밀도(5㎃/㎠~30㎃/㎠)를 변화하면서 실험하였다. 전류는 pulsed current를 이용했으며, 도금된 시편은 진공에서 600℃로 1시간 열처리 후 시효과정을 수행하였다. FePt 자성박막의 분석을 위해 EDS (energy dispersive spectroscopy), FE-SEM (field emission-scanning electron microscope), VSM (vibrating sample magnetometer), XRD (x-ray diffractometer) 을 이용하여 각각 표면ㆍ조성분석과 자기적특성 및 미세구조를 분석하였다. |
| 저자 | 이창형, 김현기, 박인수, 정근희, 나석민, 서수정 |
| 소속 | 성균관대 |
| 키워드 | Fe-Pt; electrodeposition; perpendicular magnetic anisotropy |
