학회 | 한국재료학회 |
학술대회 | 2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, 삼척 팰리스 호텔) |
권호 | 16권 1호 |
발표분야 | E. Frontiers of Materials Research(선도 재료연구) |
제목 | 전해도금을 이용한 CoP 자성박막에 Additive 첨가가 자기적 특성 및 미세구조에 미치는 영향 |
초록 | 전기화학적으로 제조되는 CoP 자성박막은 강자성 재료 중 낮은 투자율과 높은 수직자기이방성을 가져 수직자기 저장매체분야에서 많은 연구가 진행되고 있다. 그러나 전해 도금에 의해 제조된 대부분의 CoP 합금의 경우 높은 P의 함량으로 인해 비정질 상태로 존재하며 추가적인 열처리 공정이 요구되고, 자기적 성질도 저하 시킨다. 본 연구에서는 기존의 CoP 도금 용액에 additive로서 Sodium Saccharin을 첨가하여 그에 따른 미세구조와 표면 거칠기의 변화를 유발함으로서, CoP 박막의 결정학적 특성 및 자기적 특성의 변화를 확인하고, 저장매체로서의 응용 가능성을 연구하고자 하였다. CoP 자성박막 형성은 전해 도금법을 이용하여 Si/Ta(5nm)/Ru(30nm)를 증착한 기판을 전극으로 사용하였으며, 일정 도금 용액 온도(60℃)와 pH 8.0에서 전류밀도(30mA/㎠~70mA/㎠)와 첨가제인 Sodium Saccharin(0.1M~0.4M)의 농도를 변화시키면서 실험을진행하였다. CoP 자성박막의 분석을 위해 EDS, FE-SEM, VSM, XRD등을 이용하여 조성분석과 미세구조 및 자기적 특성을 분석하였다. |
저자 | 김택유, 이창형, 서수정 |
소속 | 성균관대 |
키워드 | CoP; electrodeposition; Saccharin; perpendicular magnetic anisotropy; additive |