| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2010년 가을 (11/11 ~ 11/12, 무주리조트) |
| 권호 |
16권 2호 |
| 발표분야 |
A. Information and Sensor Materials(정보소재 및 센서) |
| 제목 |
PAD법으로 제작된 산화코발트-산화주석 복합체의 가스 감응 특성 |
| 초록 |
산화코발트-산화주석 복합체 가스센서는 SiO2기판 위에 PAD(polymer-assisted deposition)법과 DC 마그네트론 스퍼터링(sputtering) 방법을 이용하여 제작하였다. DC 마그네트론 스퍼터링 방법에 의해 제작된 산화주석 박막 위에 황산코발트(CoSO4·H2O)와 PEI(polyethylenimine) 혼합 용액을 스핀코터를 사용하여 도포하고 열처리 공정을 수행하여 산화주석-산화코발트 복합체를 제작하였다. 복합체의 표면 형상은 주사전자현미경(scanning electron microscope, SEM)을 이용하여 분석하였다. 제작된 복합체의 가스센서의 감응 특성은 환원성 가스인 4% H2를 사용하여 비교하였다. |
| 저자 |
안세용, 리웨이, 장동미, 정혁, 김도진
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| 소속 |
충남대 |
| 키워드 |
Polymer-assisted Deposition; Gas Sensor; SnO2; Composite
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