| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2015년 봄 (04/29 ~ 05/01, BEXCO (부산)) |
| 권호 | 19권 1호 |
| 발표분야 | 환경에너지_포스터 |
| 제목 | 반도체 폐가스로부터 SF6 분리 농축시스템 |
| 초록 | SF6 기체는 etching 또는 cleaning 가스로 반도체 및 디스플레이 산업에서 사용되고 있다. 이 가스는 물리 화학적으로 안정하여 높은 지구온난화지수 (CO2 의 23,900배)로 알려져 있으며, 6대 온실기체로 지정되어 있다. SF6의 분리에 다양한 기술로 연구가 진행되고 있지만, 타 기술에 비해 분리막을 이용한 기체분리 공정이 경쟁력이 우수하다. 선행연구로 Polysulfone 재질의 중공사 고분자 분리막을 통한 SF6 분리 공정의 공정변수(Stage cut, 공급기체 조성) 변화에 따른 최적화 연구가 수행되었다. 이의 연장선으로 본 연구에서 대용량 중공사 분리막 시스템을 구축하였고, 이의 성능평가 연구를 수행하였다. |
| 저자 | 박완근, 이민우, 가명진, 장원철 |
| 소속 | (주)코캣 기술(연) |
| 키워드 | SF6; 분리막; 공정; polysulfone |
