| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2015년 가을 (11/04 ~ 11/06, 제주국제컨벤션센터(ICCJEJU)) |
| 권호 | 19권 2호 |
| 발표분야 | 촉매_포스터 |
| 제목 | 알루미나계 촉매를 이용한 반도체 제조공정에서 배출되는 NF3의 가수분해 연구 |
| 초록 | 반도체 제조공정에서 많이 사용되고 있는 불소계 화합물 중 하나인 NF3는 세계적인 생산량과 사용량이 한국에 집중되어있다. 이 NF3는 온난화 기체로서 지구온난화 지수는 17300에 달한다. NF3는 LCD 및 반도체 공정에서 주로 에칭 및 세정용으로 사용되고 있으며, 아직 온실가스로 선정되지는 않았지만 그 사용량은 지속적으로 증가될 것으로 전망되기 때문에 규제대상으로 지정될 수 있는 물질이다. 그러므로 NF3는 회수 또는 분해제거 되어야한다. 본 연구에서는 알루미나계 촉매를 사용하여 NF3를 가수분해 하고자 하였으며, 최적의 반응조건을 찾기 위하여 공간속도, 온도, 스팀 공급량 등을 조절하여 실험을 진행하였고, 장시간 반응 테스트를 통해 촉매의 내구성을 확인하고자 하였다. 촉매의 특성을 확인하기 위하여 XRD, SEM, EDX등의 분석을 하였다. |
| 저자 | 장원철1, 이태진2, 박노국3, 김민정2, 최원영2, 박창준2, 이태훈2, 성연백2, 이진욱2 |
| 소속 | 1코캣, 2영남대, 3청정기술(연) |
| 키워드 | NF3; Al계 촉매 |
