| 초록 |
회로기판의 40%이상의 면적을 차지하는 수동소자를 내장시켜 소자들의 실장 효율 및 전자제품의 성능을 향상시킬 수 있는 내장형 수동소자에 대한 연구가 활발히 진행되고 있으며, 특히 수동소자의 60%이상을 차지하는 capacitor의 내장기술에 대한 관심이 증대되고 있다. 이러한 내장형 capacitor 연구의 핵심은 높은 유전율를 갖는 박막 필름의 제조 이다. 본 연구에서는 이를 위해 고유전율 및 저손실을 갖는 나노크기의 BaTiO3(BT) 분말과 인쇄회로기판 공정에 적합한 수지인 epoxy를 선정하여 70 vol% BT를 충진하였을 때 63의 유전율을 갖는 BT/에폭시 하이브리드를 제조하였다. 또한 전기적 특성이 우수한 Carbon Nanotube (CNT)의 유전손실 제어 및 분산성 확보를 위해 BT와 기계화학적 처리를 통해 복합화하여 CNT-BT 복합 충진제/에폭시 하이브리드를 제조하였으며, Multiwall Nanotube(MWNT)를 사용하였을 때 BT만을 충진했을 때 보다 60% 높은 유전율 및 유사한 유전손실을 나타내었다. LCR Meter, SEM, XRD를 사용하여 BT-에폭시 복합체의 유전율, 분산상태 및 충진제의 결정구조를 확인하였다. |
