| 초록 |
탄소/탄소 복합체의 SiC 내산화 코팅막에 산탄화규소 유리층을 적용할 경우 내열성, 전기 절연성, 내습성과 고온 유동성을 갖고 있어서 자기치유 기능성을 부여할 수 있고 고온 안정성을 크게 개선할 수 있다. 본 연구에서는 탄소/탄소 복합체상의 SiC 내산화 코팅막에 SiOC 층을 삽입한 SiC-SiOC-SiC 다층막을 제조하여 고온 산화조건에서 자기치유 내산화 특성 증진 가능성을 조사하였다. SiC 내층은 MOCVD 공정을 이용하여 기체비(PMTS/PH2) 1, 온도 1250℃, 압력 15torr로 제조하였다. 산탄화규소(SiOC) 중간층은 고분자 프리커서를 딥 코팅하고 아르곤 분위기 1150℃에서 고온 열처리하여 제조하였다. SiC 외층은 내층과 동일한 방법으로 제조하였다. 제조한 다층막은 1500, 1700 ℃ 공기분위기에서 산화시험을 한 결과 우수한 내산화성을 갖고 있음이 밝혀졌다. 다층막은 엑스선회절분석기(XRD)를 이용하여 조성을 관찰하였고, 투과전자현미경(TEM)을 이용하여 미세구조, 결정성, 계면, 산소 유입의 유무, 상변화 등을 분석하였다. 전자탐침 미세분석기(EPMA)를 이용하여 탄소와 산소의 함유량 변화를 조사하였다. 밀도 측정을 통하여 탄소/탄소 복합체의 기공의 변화를 알아보았다. |
