학회 |
한국재료학회 |
학술대회 |
2019년 봄 (05/15 ~ 05/17, 평창 알펜시아 리조트) |
권호 |
25권 1호 |
발표분야 |
A. 전자/반도체 재료 분과 |
제목 |
공정 폐기물에서 발생되는 부산물로부터 인듐금속 분리 및 고순도화 기술 개발 |
초록 |
본 연구에서는 공정 폐기물로부터 전해정련법과 Czochralski(CZ)법을 이용하여 고순도 인듐 금속을 제작하였다. CZ장치는 고순도 환경을 위해 400 class 이하의 클린룸에서 가동 하였고, 결정성장을 위한 seed 부분은 인듐결정화를 원활히 하기 위해 냉각을 실시하였다. 정성/정량분석을 위해 Glow discharge mass spectrometer(GD-MS)를 이용하였으며 각 원소의 relative sensitivity factors(RSF)는 알루미늄 matrix에 인듐이 불순물로 함유된 표준시료를 이용하였다. 결정화한 인듐금속의 불순물 원소의 총합이 1ppm이하로 인듐의 최종 순도는 약 99.99994%(6N)로 나타났다. |
저자 |
이호세1, 정병조1, 양재열2, 윤재식3
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소속 |
1(주)하이퍼나인, 2(주)디에스엠, 3한국기초과학지원(연) |
키워드 |
Indium; Czochralski; GD-MS;
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E-Mail |
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