초록 |
Ag는 전성과 연성이 풍부하고 열과 전도율(1.006cal/cm·sec·deg(18℃))이 금속 중 최대이다. 뿐만 아니라 가공성·기계적 성질이 좋은 점을 이용해서 총 생산량의 70%이상이 공업용으로 사용되며 Ag Target은 CD 표면에 빛 반사율을 높이기 위한 Sputtering 증착 등에 응용되고 있다. 일반적으로 Ag Plate의 제조 공정은 압연공정에 의해 제조되고 있다. 하지만 본 연구에서는 Cross-roll 압연 공정에 의해 Ag Plate를 제조하고 제조된 압연재의 미세조직 및 조직 이방성 거동에 대한 연구를 수행하였다. 일반압연의 경우, 상부롤과 하부롤이 평행인 조건에서 압연을 진행하나, Cross-roll 압연 공정의 경우 상부롤과 하부롤이 일정 각도로 교차된 조건에서 압연을 수행하는 공정이다. 따라서, Cross-roll 압연 공정은 일반압연과 비교하여 동일한 압하율에서 재료 내부에 더 많은 변형률과 다양한 전단 변형이 작동하여 재료의 특성을 향상시키는 장점을 가지고 있다. 특히 일반 압연과 비교하여 압연재 면 내 이방성을 경감시키는 수단으로 압연 상하롤이 각각 교차되어 압연재의 ND, TD면 내에 전단변형을 도입하는 압연법이다. 본 연구에서는 Cross-roll 압연공정을 이용하여 Ag Plate의 압하율과 열처리에 따른 미세조직 변화를 연구하였다. 본 실험은 열처리 하지 않은 Ag Plate에 대해 각각 30%, 60%, 90%의 압하율로 냉간 압연하고, 816℃에서 1시간 열처리한 Ag Plate에 대해서도 위의 압하율에 따라 냉간 압연하였다. 미세조직의 변화를 관찰하기 위해 전해연마 실시 후 FESEM에 장착된 EBSD를 이용하였으며 기계적 특성을 평가하기 위해 경도 시험을 실시하였다. |