화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2008년 봄 (04/23 ~ 04/25, 제주ICC)
권호 14권 1호, p.1236
발표분야 재료
제목 나노 채널형 FET 소자 내에서 나노 유체의 거동에 관한 연구
초록 최근 마이크로 채널이 아닌 나노 채널내에서의 유체의 거동에 관한 연구가 이루어지면서 이를 이용한 단백질과 DNA, RNA와 같은 bio-material을 분리하는데 응용되고 있다. 마이크로 채널과 달리 넓이가 수 백 나노미터의 크기로 될 경우 채널 내에서는 Electrophoresis 보다 Electro-osmosis가 유체의 거동에 있어서 중요한 역할을 하게 된다. 따라서 본 연구에서는 이러한 나노 채널 내에서의 Electro-osmosis와 FET(Field Effect Transistor)를 이용한 효과적인 유체의 흐름 제어에 대해 연구한다. 본 연구에서는 IL(Interferometric lithography)에 의해 제작된 Si master 칩을 이용하여 CFL(Capillary Force Lithography) 방식과 Ni reforming 방식, 그리고nano-imprint를 이용한 Hot -embossing 기법에 의해 약 100nm 크기의 채널을 가진 2-Dimensional nanochip을 사용하였다. 또한 UV-lithography를 이용하여 채널의 높이만 nano scale인 1-Dimensional nanochip을 사용하였다. 이러한 나노 채널 내에 RITC, FITC와 같은 Dye를 주입한 후 전압을 인가하여 Zeta-potential에 따른 electric double layer (EDL)에서의 이온 전하의 변화에 의해 유체의 흐름을 연구하였다. 이와 같은 방식으로 채널 내의 이온 전하를 변화시킴으로써 Electro-osmosis flow의 흐름방향과 속도를 조절하고 FET control flow방식을 이용하여 Dye의 분리를 시도한다. 본 연구에서는 FT-IR과 Epi-fluorscent microscope, CLSM을 이용하여 나노 채널에서의 유체 거동에 대한 분석결과를 발표하고자 한다.
저자 정찬화, 정명기
소속 성균관대 화학공학과
키워드 nanofluidics; electro-osmosis; zeta potential; FET (Field Effect transistor); FITC; RITC
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