| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2013년 가을 (11/06 ~ 11/08, 제주롯데호텔) |
| 권호 |
19권 2호 |
| 발표분야 |
B. 나노 재료(Nano Materials) |
| 제목 |
스퍼터법으로 폴리머 기판 위에 증착한 금속박막의 부착특성 |
| 초록 |
최근 차량의 외관미 개선 목적으로 확대 적용되고 있는 스퍼터링 공법 알루미늄 휠의 도장 부착성 강화의 필요성이 대두되고 있다. 코팅의 도장 공법과 달리 금속 재질의 물리증착 코팅층이 추가됨에 따라 기존 도장 공법과 동등한 수준의 부착력 확보가 필요하며 스퍼터로 증착된 박막과 휠의 재료로 사용되는 휠 사이의 부착력 향상을 위한 연구가 미흡한 실정이다. 본 연구는 bias voltage의 변화가 Cr 박막의 증착율에 미치는 영향과 bias voltage에 따른 박막의 부착력 변화를 관찰하였다. 또한 박막을 증착하기 전 sputter cleaning을 다양한 power에서 실시한 후 기판의 표면에너지 측정 및 power 변화에 따라 증착한 박막과 기판 사이의 critical load를 측정하여 부착성을 평가하였다. Cr 박막의 증착은 DC magnetron sputter를 이용해 증착하였으며, sputter cleaning 및 bias voltage는 R.F source를 이용하였다. 박막의 증착율의 변화는 α-step을 이용해 측정하였고 부착력 변화는 스크래치 테스트를 통해 critical load를 측정하였다. 박막의 증착 시 사용한 bias voltage는 -10에서 -80 V 범위에서 진행하였다. Bias voltage 변화에 따른 표면 형상의 변화를 관찰하기 위해 Fe-SEM을 이용해 각각의 bias voltage 변화에 따라 증착한 Cr 박막을 관찰하였다. |
| 저자 |
정은욱, 김동용, 최인균, 배광진, 조영래
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| 소속 |
부산대 |
| 키워드 |
Sputter cleaning; Bias voltage; 표면에너지; Critical load
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