| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2013년 봄 (05/23 ~ 05/24, 여수 엠블호텔(THE MVL)) |
| 권호 |
19권 1호 |
| 발표분야 |
F. 광기능/디스플레이 재료(Optical Functional and Display Materials) |
| 제목 |
MPC(Magnetic Pulsed Compaction) 공정을 이용한 ZnO Target 제조 |
| 초록 |
현재 ITO(Indium Tin Oxide)를 대체할 유력한 소재로 각광받고 있는 ZnO는 좁은 전도대역으로 인해 도핑이 용이하며, 도핑물질에 따라 전기 광학적 성질의 조절이 용이하고, 우수한 광투과성과 전도성의 많은 장점을 가지는 재료로 경제적이며 실용적인 투명 전도막 재료로써 활용이 기대되고 있다. 하지만 세라믹소재인 ZnO은 금속에 비해 소결기구가 부족하여 소성변형이 일어나기 어려워 성형이나 소결과정 중에 취성파괴가 발생하기 쉽다. 따라서 성형 시 성형밀도의 증가와 결함을 억제하기 위하여 바인더(Binder)를 첨가하고 적절한 성형압력을 가해 성형해야한다. 또한 일축압축과 CIP(Cold Isostatic Pressing)와 같은 기존의 성형 공정은 성형시간과 준비시간이 길어 시간과 비용 측면에서 비효율적이다. 본 연구에서는 기존의 공정보다 빠르고 저렴하게 치밀한 성형체를 제조할 수 있는 MPC(Magnetic Pulsed Compaction) 공정을 이용하여 ZnO 성형체를 제조하였다. MPC 공정으로 제조한 성형체와 기존의 공정인 일축압축과 CIP로 제조한 성형체의 성형성을 비교하기 위하여 성형압력을 변화시켜 성형체를 제조하였다. MPC 공정으로 제조된 성형체의 성형밀도가 기존 공정보다 약 2 % 높았고, 1300 ℃(승온속도 5 ℃/min)에서 4시간 소결 시 일축압축, CIP, MPC 공정의 상대밀도는 모두 98 %이상 측정되었다. |
| 저자 |
박승진1, 강산1, 현승균1, 김효섭2, 홍순직2
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| 소속 |
1인하대, 2공주대 |
| 키워드 |
ZnO; MPC(Magnetic Pulsed Compaction); Uni-directional Pressing; CIP(Cold Isostatic Pressing)
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