| 학회 |
한국화학공학회 |
| 학술대회 |
2002년 가을 (10/24 ~ 10/26, 서울대학교) |
| 권호 |
8권 2호, p.4858 |
| 발표분야 |
재료 |
| 제목 |
블록 공중합체 박막내부에 기억 소자용 자성 금속 함침 |
| 초록 |
In summary, we successfully synthesized well ordered holes with P(S-MMA) polymer template. In addition, we impregnated magnetic metal into polymer template. By RIE and ion milling, we successfully transferred this pattern into silicon wafer substrate. Also, we anticipate this skill can be applied so many application such as DNA chip, storage memory device, and advanced nano-lithography, and so on. |
| 저자 |
최대근, 권기영, 정종률, 정희태, 신성철, 양승만
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| 소속 |
한국과학기술원 생명화학공학과 |
| 키워드 |
magnetic metal; thin film; block copolymer; nanopattern
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| E-Mail |
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| 원문파일 |
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