| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2003년 봄 (04/25 ~ 04/26, 순천대학교) |
| 권호 | 9권 1호, p.188 |
| 발표분야 | 공정시스템 |
| 제목 | 실시간 외란에 강인한 Two Stage 반복 학습제어기를 이용한 RTP 장치 웨이퍼 온도의 다변수 제어 |
| 초록 | 웨이퍼 고속 열처리 공정은 대표적인 배치 공정으로 온도궤적을 정밀하게 추종하면서 웨이퍼 표면 전체의 균일성을 유지하는 것이 수율과 품질 측면에서 매우 중요하다. 웨이퍼의 사이즈가 대구경화 되고, Thermal Budget을 줄이는 Spike Annealing과 같은 처리가 요구되는 최근 동향을 고려할 때 정밀한 온도 제어기 요구는 필연적이다. 본 연구에서는 시변 상태 공간 모델에 근거한 다변수 최적 반복학습 제어기법을 제안하였으며, 실시간 외란에 강인하고 수렴 성능을 향상시키도록 Two Stage BLQG 알고리즘을 개발하였다. Two Stage BLQG 알고리즘은 QILC와 LQG가 각각 학습과 실시간 외란을 담당하는 구조를 가지고 있으며 부 공간 인식을 이용하여 얻은 모델을 같이 사용한다. 제안한 제어기의 성능을 검증하기 위해 본 연구실이 보유한 8inch RTP 장비에 적용하였고, 그 결과 수렴 속도와 실시간 외란에 대해 탁월한 성능을 보였다. |
| 저자 | 조문기, 이광순, 주상래, 이용희 |
| 소속 | 서강대 |
| 키워드 | LQG; RTP; Iterative learning control; |
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