| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2003년 가을 (11/21 ~ 11/22, 연세대학교) |
| 권호 | 9권 2호 |
| 발표분야 | 세라믹스 |
| 제목 | RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 epitaxial BaTiO3 박막 성장과 유전특성 |
| 초록 | RF magnetron sputtering 법을 이용하여 LaAlO3, SrTiO3, MgO 단결정 기판 위에 BaTiO3 박막을 에피텍셜하게 증착하여 박막의 특성과 마이크로 웨이브에서의 유전특성을 평가하였다. 각 기판 위에 증착한 박막의 격자상수와 FWHM을 조사하였고, pole figure로 에피텍셜 성장을 관찰하였다. 각 시편에 상부 전극으로 interdigital 타입의 전극을 photolithography 하여 캐패시턴스와 tan δ 을 조사하였다. 각 기판의 변화에 따른 격자상수 변화와 유전 특성의 변화를 고찰하였다. |
| 저자 | 현태선, 조영우, 최시경 |
| 소속 | 한국과학기술원 |
| 키워드 | BaTiO3 thin film; epitaxial thin film; dielectric properties |
