| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2015년 가을 (11/25 ~ 11/27, 부산 해운대그랜드호텔) |
| 권호 | 21권 2호 |
| 발표분야 | F. 광기능/디스플레이 재료 |
| 제목 | 레이저 화학기상증착법으로 증착된 금속박막의 초기 성장기구 고찰 |
| 초록 | 레이저화학기상증착법(Laser chemical vapor deposition)은 선택적인 증착방법으로 레이저와 전구체를 이용하여 원하는 박막을 기판에 직접묘사(direct writing) 하는 공정이다. 이러한 증착법을 사용하면 기존의 여러 스텝의 패터닝(patterning) 공정인 사진공정, 증착공정, 식각공정을 한 번의 공정으로 대체할 수 있다. 다양한 기판 위에 패터닝 공정 없이 패턴을 직접 제작한다는 장점을 이용해 2, 3차원 구조의 미세전자분야에서도 많이 사용되고 있다. 본 연구에서는 대기압(atmospheric) 레이저 화학기상증착법을 이용하여 금속박막을 직접묘사하였다. 이러한 대기압 레이저 화학기상증착법은 보통의 진공 증착법과 다르게 대기 중의 산소와의 반응, 전구체의 낮은 분압 등의 인자로 인해 독특한 증착특성을 보인다. 특히 초기 금속의 핵 생성, 핵의 성장 및 박막의 형성 등은 증착 공정인자인 레이저 파워 및 가스의 유량에 따라 달라진다. 이러한 초기 증착특성을 알기 위해 공정 변수를 변화시켜 대기압 레이저 화학기상증착법에 영향을 미치는 원인에 대해 분석하고 국부적으로 가열된 기판온도와의 연관성을 확인하였다. |
| 저자 | 이재갑1, 변인재2, 이지원1, 정경훈1 |
| 소속 | 1국민대, 2참엔지니어링 |
| 키워드 | Laser Chemical Vapor Deposition; Direct writing; Atmospheric; Growth behaviors; Nucleation |
