| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2011년 봄 (04/27 ~ 04/29, 창원컨벤션센터) |
| 권호 | 17권 1호, p.797 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 대응반응물에 따른 ALD TiO2 증착 특성 평가 |
| 초록 | 이산화티타늄(TiO2)은 백색안료나, 고주파용 콘덴서 소재를 비롯한 전자재료, 저반사 코팅등의 광학재료, 그리고 센서 및 보호재료 등 매우 광범위한 응용 범위를 갖고 있다. 특히 최근에는 TiO2를 무한 응용 가능성을 지닌 새로운 환경 개선 광촉매 소재로 사용하려는 연구가 매우 활발하게 진행되고 있다. 본 연구에 유기금속 전구체인 TEMAT를 이용하고H2O와 H2O2를 각각 대응 반응물로 사용하여 ALD TiO2를 제조하였다. ALD의 공정조건에 따른 막의 물리화학적 특성과 함께 증착된 막의 광학적 활성을 살펴보았다. |
| 저자 | 김용안, 김도형, 김현철, 황윤선 |
| 소속 | 전남대 |
| 키워드 | TiO2; ALD(Atomic Layer Deposition); H2O; H2O2; TEMAT |
| 원문파일 | 초록 보기 |
