| 초록 |
함불소 화합물인 PFCs (Perfluorocompounds)는 반도체 제조공정, 특히 식각(etchig) 및 증착(CVD) 과정에서 차지하는 비중이 크다. 이 물질은 매우 안정하고 여러 환경적인 문제가 제기되고 있기 때문에 PFC 제거를 위한 연구가 진행되고 있다. 고온 촉매 반응을 통하여 PFCs를 분해시 발생되는 HF 제거 및 새로운 불소화합물 합성을 위해 상온 수용액상에서 Hydrotalcite와의 반응을 살펴보았다. 층상 구조물질인 Hyrotalcite의 일반적인 구조는 [M1-x+2Mx+3(OH)2]x+[Ax/nn-]·mH2O로 본 연구에서는 Mg-Al-CO3, Mg-Fe-CO3, Ni-Al-CO3, Ni-Fe-CO3 Hydrotalcite 등을 제조하여 액상에서 HF와의 반응에 의하여 MgAl2F8·H2O 등의 불소화합물을 합성하였다. 불소화합물 합성의 실험변수로는 상온 액상 반응 조건 하에서 최대 36시간 반응시간, HF 농도 등이었다. 전구체로 사용된 Hydrotalcite와 HF와의 반응 후에 생성된 생성물의 특성 분석을 위하여 X-선 회절분석, 질소 흡착에 의한 비표면적, 기공부피, 기공크기 변화, XPS 분석, 원소분석, TGA/DTA 분석 등을 행하였다. 그리고 새롭게 합성된 불소화합물에 대한 촉매 및 담체로서의 가능성에 대하여 살펴보았다. |
