| 초록 |
본 연구는 반도체 제조공정에서 배출되는 불산 함유 폐수로부터 불소화합물을 제거함에있어서 경제성이 높은 석회석 현탁액을 활용하는 방안을 고찰하였다. 현장에서 주로 사용되는 Ca(OH)2를 대체할 수 있는 칼슘원은 CaCl2와 CaCO3가 있으며, 본 연구에서는 제지 코팅용으로 사용되는 잉여 석회유를 재활용하는 차원에서 시도하였으며, 시험용 석회석 현탁액은 평균 직경이 0.92 um인 초미세입자들의 불소이온과의 반응율을 고찰해보았다. 현탁액은 약 77%의 석회석 미립자를 함유하고 있으며, 폐수의 pH와 이온상 불순물의 종류에 따라 산 또는 알카리를 첨가하여 pH를 조절하였다. 특히 CaO를 약 0.2% 혼합함으로써 pH를 12까지 상승시켜가며 CaF2 결정반응을 촉진코자 하였다. 대상 폐수의 F-농도는 1400 ppm 이었고, pH는 2.9이었는 바, pH와 현탁액 주입변화량를 통하여 최종 배출수의 F- 함유량을 4 ppm까지 낮추었다. 가장 효과적인 효율은 pH가 10~12 범위에서 이루어지고 있었으며, 양론계수 대비 50% 과잉율에서 최대 반응정도를 얻기 위한 반응시간은 약 4 시간으로 밝혀졌다. |
