| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2004년 가을 (11/05 ~ 11/05, 인하대학교) |
| 권호 |
10권 2호 |
| 발표분야 |
반도체 II(화합물) |
| 제목 |
스퍼터링법을 이용하여 제작한 Zn1-XCoXO 박막의 Co 농도변화에 따른 전기 및 자기적 특성 |
| 초록 |
본 연구에서는 펄스 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 Zn1-xCoxO 박막을 Glass 기판 위에 제조하여 전기 및 자기적 특성을 조사하였다. 다른 공정 변수를 고정시킨 상태에서 Co 농도를 변화시킴에 따라 박막에서 c축 결정 성장의 영향을 HR XRD를 이용하여 조사하였다. SEM을 통하여 박막두께 및 증착율을 조사하였고, 박막의 표면 미세조직 및 자기적 성질에 미치는 영향을 분석하였다. 또한, 박막의 전기적 특성은 Van der Pauw 법으로 Hall 측정 장비를 이용하여 조사하였다. 박막의 광특성은 UV-vis. spectrometer를 이용하여 투과도 및 밴드갭 에너지를 구하였다. XPS 분석을 통해 Co와 O 간의 결합 상태를 확인하였고, ZnCoO박막의 자기적인 특성을 AGM과 SQUID 측정을 통해 조사하였다. |
| 저자 |
고석배1, 고윤덕1, 최문순1, 태원필2, 김기출3, 김상협3, 서수정1, 김용성1
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| 소속 |
1성균관대, 2인하대, 3한국전자통신(연) |
| 키워드 |
펄스 마그네트론 스퍼터링법; Co 농도변화; 자기적인 특성
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